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上海恒圆电子材料公司生产加工各种不同形状和长度的本征单晶硅籽晶,标准产品保证晶向偏差(圆形)小于10’,(方形)小于10’。
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| 籽晶 |
长度 |
外径/宽×厚 |
晶向 |
表面 |
弯曲度 |
| (MM) |
(MM) |
方向 |
偏离 |
(UM) |
| 圆形标准 |
170+/-10 |
12.5 |
<100>
<111> <110> |
<10‘ |
镜面抛光 |
<60 |
| 圆形定制 |
125-225 |
8.0-25 |
| 方形标准 |
125+/-10 |
125×125 |
<10‘ |
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| 方形定制 |
125-210 |
8.0-25 |
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| 籽晶 |
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上海恒圆电子材料公司能够生产加工各种高级掺杂用母合金具备标准的掺杂剂浓度控制。所有母合金经过严格的检测,腐蚀和清洗过程,在净空房内称重包装,方便客户使用。
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| 母合金 |
电导 |
掺杂剂浓度 |
浓度误差范围 |
| 重掺磷 |
P |
1E17-2E19或定制 |
<5% |
| 重掺磷 |
N |
1E17-2E19或定制 |
<5% |
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| 掺杂剂 |
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